作者黄鸿羽摘要惯性传感器是一种用于检测被测物体惯性力，进而测量其加速度、角速度及相应运动状态变化的传感器。MEMS惯性传感器具备体积尺寸小型化、微电子高度集成、可高精度批量制造等MEMS器件的优点，被广泛...
