半导体/行业深度分析报告/2023.02.23投资评级:看好(维持)最近12月市场表现半导体沪深3000%-7%-14%-21%-29%-36%分析师张益敏SAC证书编号：S0160522070002zhangym02@ctsec.com相关报告1.《细致检测攻坚克难，精准度量引领进步》2022-12-03光刻为半导体设备之巅，冰山峰顶待国产曙光证券研究报告光刻设备行业报告核心观点光刻是半导体生产中最重要的工艺步骤：光刻是半导体器件制造的最核心步骤，直接决定集成电路的性能和良率。光刻机的核心工艺指标包括：分辨率、聚焦深度、套刻精度、曝光功率及单位时间产能等。主流的光刻机均采用浸没系统、可编程光照、畸变修正、热效应修正、对准与表面测量等高难度技术。光刻设备均具有高技术附加值,毛利率超过50%。成熟工艺领域为主，国内光刻设备市场广阔：中国大陆以成...