请务必阅读末页的免责条款和声明2023年3月21日新能源汽车行业锂电池产业链专题报告一张图看懂汇成真空中信证券研究部新能源汽车组袁健聪/李鹞1真空镀膜技术三类真空镀膜技术真空磁控溅射镀膜真空蒸发镀膜真空离子镀膜加热膜材使表面组分以原子团或分子团形式被蒸发出来，并沉降在基片表面形成薄膜用高能等离子体轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，在工作气体离子或被蒸发物质的离子轰击作用下，把蒸发物或其反应物沉积在被镀基片表面资料来源：汇成真空招股说明书说明书资料来源：汇成真空招股。检测调试等环节、自动化控制、生产装配、其生产工艺流程主要包括产品设计...