本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明证券研究报告1[Table_Summary]报告摘要：多年大力投入半导体设备，持续突破新产品公司近年来集中优秀资源深耕半导体设备，膜厚量测设备率先突破，仅用一年就实现了集成式和独立式机型的双双突破。2019、2020、2021H1半导体设备收入从700万，跃升到6500万，再到半年超6500万，增长强劲。公司布局OCD设备、电子束检测设备也已在客户验证阶段，有望发展成为半导体设备第二、第三增长点。晶圆检测设备壁垒极高，是建设“去A线”的关键2019年以来，我国面临科技封锁日甚，在代表高精尖科技的半导体领域尤为突出，自主研发，建设“去A线”势在必行。检测设备涉及到光学、电学、材料、机械等综合学科，技术壁垒极高。美国的KLATencor在各类晶圆检测设备中...