敬请参阅最后一页特别声明1投资逻辑量/检测设备为半导体制造过程控制的重要组成部分，在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对晶圆厂及时发现问题、改善工艺、提高良率起到至关重要的作用。其贯穿于芯片制造全程，根据功能可具体分为检测和量测设备,市场份额占比分别为63%/34%。量/检测设备种类丰富，技术路线分为光学、电子束和X光检测三类，光学检测为主流技术路径占比超过80%。量/检测设备种类众多，细分为晶圆缺陷检测、掩膜版检测、关键尺寸量测、膜厚量测、套刻精度量测等多种设备，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备价值量最高，占比25%，同时单台价值量和技术壁垒也较最高。全球量/检测设备百亿美元市场，美国科磊半导体（KLA）占比54%一家独大。2021年全球量/检测设备市场规模104亿美元，占半导体制造设...