1【中泰电子】光刻机行业报告：从0到1，星辰大海证券研究报告2023年04月03日中泰电子王芳团队分析师：王芳执业证书编号：S0740521120002分析师：游凡执业证书编号：S0740522120002分析师：杨旭执业证书编号：S0740521120001研究助理：张琼目录一、光刻是芯片制造最核心环节，大陆自给率亟待提升1.1光刻机是芯片制造的核心设备，市场规模全球第二1.2一超两强垄断市场，大陆卡脖子现象凸显二、光刻机：多个先进系统的组合，核心零部件被海外厂商垄断2.1从接触式到EUV，制程持续演进2.2多个先进系统组合，技术壁垒极高三、大陆厂商实现从“0到1”，本土化带来广阔替代空间四、投资建议及风险提示2pOwPtRmMsNsOuNsOzRoNmNbR9RaQsQnNsQtQlOnNnReRmMqM6MrQoQMYpPsQuOpPoM来源：ASML，中泰证券研究所3光刻是芯片制造最核...