高精度MEMS陀螺仪深度之一:原理、工艺与产业链

阅读 166 下载 19 格式 pdf 大小 1.22 MB 共21页2023-08-21 11:53:54发布于上海市
证券研究报告:国防军工深度报告2023年8月18日市场有风险,投资需谨慎请务必阅读正文之后的免责条款部分行业投资评级强于大市维持行业基本情况收盘点位1469.2752周最高1691.9552周最低1413.25行业相对指数表现(相对值)资料来源:聚源,中邮证券研究所研究所分析师:鲍学博SAC登记编号:S1340523020002Email:baoxuebo@cnpsec.com分析师:王煜童SAC登记编号:S1340523070004Email:wangyutong@cnpsec.com近期研究报告《中邮军工7月月报:35家军工企业披露半年报业绩预告,看好中期调整后军工行业发展机遇》-2023.08.01高精度MEMS陀螺仪深度之一:原理、工艺与产业链MEMS陀螺仪利用科里奥利力去测量角速度,用MEMS工艺实现,一般采用梳齿电容静电驱动质量块振动,角速度带来质量块另外一个方向的位移,用电容检测该位移...

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