作者黄鸿羽摘要惯性传感器是一种用于检测被测物体惯性力，进而测量其加速度、角速度及相应运动状态变化的传感器。MEMS惯性传感器具备体积尺寸小型化、微电子高度集成、可高精度批量制造等MEMS器件的优点，被广泛应用于航空航天、石油化工、汽车、船舶、消费电子、医疗等领域。受益于中国消费电子和汽车智能化的快速发展，2014-2018年，中国MEMS惯性传感器行业市场规模（按销售额统计）由55.2亿元增长至73.5亿元，年复合增长率为7.4%。随着5G带来的智能手机市场回暖、新型消费电子渗透率的进一步提升以及汽车智能化的进一步发展，预计2023年市场规模将达到102.7亿元。消费电子为MEMS惯性传感器市场需求的增长提供基础支撑消费电子当前MEMS惯性传感器的第一大应用市场，几乎每一类可测量运动状态或受运动状态影响的...