证券研究报告行业周报专用设备http://www.stocke.com.cn1/5请务必阅读正文之后的免责条款部分专用设备报告日期：2023年09月17日光刻气：光刻机重要耗材，推荐华特气体、凯美特气等——工业气体行业周报（2023年9月第3周）投资要点❑光刻气体是光刻工艺所需重要材料，主要成分为氖气等气体产品光刻气体作用：光刻过程中需要充入混合气，在受到高压激发后，混合气会形成等离子体，固定波长的光线在经过聚合、滤波等过程后形成光刻机光源。光刻气体组分：氖气为用量占比最大的原料。主要的混合气有氩/氟/氖混合气、氪/氖混合气、氩/氖混合气、氩/氙/氖混合气等。❑光刻气体价格位于近三年底部，下游集成电路需求有望企稳回升光刻气体当前价格处于2020年以来的底部。根据特气头条数据，2023年9月14日，氪气出厂价为675...