证晶圆载具：晶圆“保险箱”，高端产品国券产替代进程启动研究[Tabl主e_要Su观mm点ary]报[Table增_R持at（ing维]持）污染控制是提升芯片生产良率的重要手段之一，而晶圆载具是污染控告[行Ta业bl:e_Indu电st子ry]制的重要工具。晶圆载具用于硅片生产、晶圆制造以及工厂之间晶圆的储存、传送、运输以及防护，按尺寸可以分为12英寸和8英寸及以日期:s20h2z3q年da1t1e月m2a1r日k下，我们认为难度较大的12英寸晶圆载具是国产替代的核心。12英寸[T分ab析le师_A:utho马r]永正晶圆载具包括FOUP（主要用于Fab厂中）、FOSB（主要用于硅片制造厂与Fab厂之间12寸晶圆的运输）、无接触HWS等品类。基于应特格数Tel:021-53686147据我们认为芯片制程降低将推升污染控制的难度，从而使得对晶圆载具的性能要求提升。E-mail:mayongzh...