[电Ta子bl行e_业T深it度le研]究行光刻机行业深度报告：自主可控攻坚正业挖掘价值投资成长研究当时，产业链迎突破黄金期[Table_Rank]/强于大市（维持）电子/2025年04月11日证[东Ta方bl财e_富Au证th券or研]究所券证券分析师：李双亮研证书编号：S1160524100007[Table_Summary]证券分析师：王佩麟究【投资要点】证书编号：S1160524100001报告光刻机为半导体制造核心设备，空间巨大、高度垄断。光刻工艺是半导体制造最核心的工艺之一，光刻机也是技术壁垒最高、市场空间最大的细分设备大类之一。根据AMAT资料，2023年全球957亿美元WFE[相T对a指bl数e表_现PicQuote]市场中，光刻机占比约26%、近250亿美元。而光刻机市场高度垄断，荷兰ASML一家便占据绝大多数市场，尤其是在高端产品如EUV、ArFi59.51%等领域呈绝对领先...